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半導體晶圓搬運

SEMISRAR-MR124系列
  • SEMISRAR-MR124
    5軸水平多關節
    對應200/300/450mm Wafer
    可達範圍:1215mm
    適用電控箱:SR100
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SEMISRAR-M系列
  • SEMISRAR-M124
    5軸水平多關節
    對應200/300/450mm Wafer
    可達範圍:1165mm
    適用電控箱:NXC100
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  • SEMISRAR-M122
    5軸水平多關節
    對應200/300mm Wafer
    可達範圍:737mm
    適用電控箱:NXC100
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  • SEMISRAR-M112
    4軸水平多關節
    對應200/300mm Wafer
    可達範圍:737mm
    適用電控箱:NXC100 
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  • SEMISRAR-M201
    4軸水平双腕
    對應200/300/450mm Wafer
    可達範圍:647mm
    適用電控箱:NXC100
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  • SEMISRAR-M101
    3軸水平單腕
    對應200/300mm Wafer
    可達範圍:650mm
    適用電控箱:NXC100 
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